Shape-sensitive linewidth measurements of resist structures : LITG410I project / / John S. Villarrubia; Andras E. Vladar; Michael T. Postek
(Visualizza in formato marc)
(Visualizza in BIBFRAME)
| Autore: |
Villarrubia John S
|
| Titolo: |
Shape-sensitive linewidth measurements of resist structures : LITG410I project / / John S. Villarrubia; Andras E. Vladar; Michael T. Postek
|
| Pubblicazione: | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 2004 |
| Descrizione fisica: | 1 online resource |
| Altri autori: |
PostekMichael T
VillarrubiaJohn S
VladárAndrás E
|
| Note generali: | 2004. |
| Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes. | |
| Title from PDF title page. | |
| Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| Altri titoli varianti: | Shape-sensitive linewidth measurements of resist structures |
| Titolo autorizzato: | Shape-sensitive linewidth measurements of resist structures |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 9910710774703321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |