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Interlaboratory study on linewidth measurements for antireflective chromium photomasks / / John M. Jerke, M. Carroll Croarkin, Ruth N. Varner
| Interlaboratory study on linewidth measurements for antireflective chromium photomasks / / John M. Jerke, M. Carroll Croarkin, Ruth N. Varner |
| Autore | Jerke John M |
| Pubbl/distr/stampa | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1982 |
| Descrizione fisica | 1 online resource |
| Altri autori (Persone) |
CroarkinM. Carroll
JerkeJohn M VarnerRuth N |
| Collana | NBS special publication |
| Formato | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNINA-9910709504903321 |
Jerke John M
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| Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1982 | ||
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National Bureau of Standards mass calibration computer software / / Ruth N. Varner
| National Bureau of Standards mass calibration computer software / / Ruth N. Varner |
| Autore | Varner Ruth N |
| Pubbl/distr/stampa | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1980 |
| Descrizione fisica | 1 online resource |
| Altri autori (Persone) | VarnerRuth N |
| Collana | NBS technical note |
| Soggetto topico | Calibration - Data processing |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNINA-9910711228003321 |
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Varner Ruth N
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| Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1980 | ||
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Standard reference materials : antireflecting-chromium linewidth standard, SRM 475, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner
| Standard reference materials : antireflecting-chromium linewidth standard, SRM 475, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner |
| Autore | Vezzetti Carol F |
| Pubbl/distr/stampa | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1992 |
| Descrizione fisica | 1 online resource |
| Altri autori (Persone) |
VarnerRuth N
VezzettiCarol F |
| Collana | NIST special publication |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Altri titoli varianti | Standard reference materials |
| Record Nr. | UNINA-9910709563603321 |
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Vezzetti Carol F
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| Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1992 | ||
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Standard reference materials : antireflecting-chromium linewidth standard, SRM 473, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner
| Standard reference materials : antireflecting-chromium linewidth standard, SRM 473, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner |
| Autore | Vezzetti Carol F |
| Pubbl/distr/stampa | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1992 |
| Descrizione fisica | 1 online resource |
| Altri autori (Persone) |
VarnerRuth N
VezzettiCarol F |
| Collana | NIST special publication |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Altri titoli varianti | Standard reference materials |
| Record Nr. | UNINA-9910709563703321 |
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Vezzetti Carol F
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| Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1992 | ||
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Standard reference materials : bright-chromium linewidth standard, SRM 476, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner
| Standard reference materials : bright-chromium linewidth standard, SRM 476, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner |
| Autore | Vezzetti Carol F |
| Pubbl/distr/stampa | Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1991 |
| Descrizione fisica | 1 online resource |
| Altri autori (Persone) |
VarnerRuth N
VezzettiCarol F |
| Collana | NIST special publication |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Altri titoli varianti | Standard reference materials |
| Record Nr. | UNINA-9910709563503321 |
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Vezzetti Carol F
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| Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1991 | ||
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