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Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
| Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo |
| Autore | Ree Moonhor |
| Pubbl/distr/stampa | Hauppauge, N.Y., : Nova Science Publishers, c2010 |
| Descrizione fisica | 1 online resource (77 p.) |
| Disciplina | 621.381 |
| Altri autori (Persone) |
YoonJinhwan
HeoKyuyoung |
| Collana | Nanotechnology science and technology |
| Soggetto topico |
Dielectric films
Microelectronics - Materials Porous materials Interconnects (Integrated circuit technology) |
| Soggetto genere / forma | Electronic books. |
| ISBN | 1-61728-318-5 |
| Formato | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNINA-9910461354803321 |
Ree Moonhor
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| Hauppauge, N.Y., : Nova Science Publishers, c2010 | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
| Low-k nanoporous interdielectrics [[electronic resource] ] : materials, thin film fabrications, structures and properties / / Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo |
| Autore | Ree Moonhor |
| Pubbl/distr/stampa | Hauppauge, N.Y., : Nova Science Publishers, c2010 |
| Descrizione fisica | 1 online resource (77 p.) |
| Disciplina | 621.381 |
| Altri autori (Persone) |
YoonJinhwan
HeoKyuyoung |
| Collana | Nanotechnology science and technology |
| Soggetto topico |
Dielectric films
Microelectronics - Materials Porous materials Interconnects (Integrated circuit technology) |
| ISBN | 1-61728-318-5 |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNINA-9910790065503321 |
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Ree Moonhor
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| Hauppauge, N.Y., : Nova Science Publishers, c2010 | ||
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