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Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel
| Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel |
| Autore | Rebohle, Lars |
| Pubbl/distr/stampa | Cham, : Springer, 2019 |
| Descrizione fisica | xviii, 288 p. : ill. ; 24 cm |
| Altri autori (Persone) |
Prucnal, Slawomir
Reichel, Denise |
| Soggetto topico |
82-XX - Statistical mechanics, structure of matter [MSC 2020]
78-XX - Optics, electromagnetic theory [MSC 2020] 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020] 83-XX - Relativity and gravitational theory [MSC 2020] |
| Soggetto non controllato |
FLA assisted deposition
High-k dielectrics High-k materials Millisecond annealing Semiconductor Nanostructures Transparent conducting oxides |
| Formato | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Titolo uniforme | |
| Record Nr. | UNICAMPANIA-VAN0215761 |
Rebohle, Lars
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| Cham, : Springer, 2019 | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli | ||
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Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel
| Flash Lamp Annealing : From Basics to Application / Lars Rebohle, Slawomir Prucnal, Denise Reichel |
| Autore | Rebohle, Lars |
| Pubbl/distr/stampa | Cham, : Springer, 2019 |
| Descrizione fisica | xviii, 288 p. : ill. ; 24 cm |
| Altri autori (Persone) |
Prucnal, Slawomir
Reichel, Denise |
| Soggetto topico |
00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
78-XX - Optics, electromagnetic theory [MSC 2020] 82-XX - Statistical mechanics, structure of matter [MSC 2020] 83-XX - Relativity and gravitational theory [MSC 2020] |
| Soggetto non controllato |
FLA assisted deposition
High-k dielectrics High-k materials Millisecond annealing Semiconductor Nanostructures Transparent conducting oxides |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Titolo uniforme | |
| Record Nr. | UNICAMPANIA-VAN00215761 |
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Rebohle, Lars
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| Cham, : Springer, 2019 | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli | ||
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