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DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
Autore Munro, Deborah
Pubbl/distr/stampa Cham, : Springer, 2019
Descrizione fisica xvi, 188 p. : ill. ; 24 cm
Soggetto topico 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
94Cxx - Circuits, networks [MSC 2020]
Soggetto non controllato Actuators
Biomedical Engineering
Cleanrooms
DIY
Fabrication
Lithography
MEMS
MEMS Packaging
Microelectromechanical systems
Microfabrication
NNCI
Nanotechnology
National Nanotechnology Infrastructure Network
Open use labs
Soft materials
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Titolo uniforme
Record Nr. UNICAMPANIA-VAN0215448
Munro, Deborah  
Cham, : Springer, 2019
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli
Opac: Controlla la disponibilità qui
DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro
Autore Munro, Deborah
Pubbl/distr/stampa Cham, : Springer, 2019
Descrizione fisica xvi, 188 p. : ill. ; 24 cm
Soggetto topico 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
94Cxx - Circuits, networks [MSC 2020]
Soggetto non controllato Actuators
Biomedical Engineering
Cleanrooms
DIY
Fabrication
Lithography
MEMS
MEMS Packaging
Microelectromechanical systems
Microfabrication
NNCI
Nanotechnology
National Nanotechnology Infrastructure Network
Open use labs
Soft materials
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Titolo uniforme
Record Nr. UNICAMPANIA-VAN00215448
Munro, Deborah  
Cham, : Springer, 2019
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