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Nano-lithography [[electronic resource] /] / edited by Stefan Landis
| Nano-lithography [[electronic resource] /] / edited by Stefan Landis |
| Autore | Landis Stefan |
| Edizione | [1st edition] |
| Pubbl/distr/stampa | London, : ISTE |
| Descrizione fisica | 1 online resource (353 p.) |
| Disciplina | 621.381531 |
| Altri autori (Persone) | LandisStefan |
| Collana | ISTE |
| Soggetto topico | Nanolithography |
| Soggetto genere / forma | Electronic books. |
| ISBN |
1-118-62170-0
1-118-62258-8 1-299-31558-5 1-118-62162-X |
| Formato | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Nota di contenuto | Ch. 1. X-ray lithography : fundamentals and applications -- ch. 2. NanoImprint lithography -- ch. 3. Lithography techniques using scanning probe microscopy -- ch. 4. Lithography and manipulation based on the optical properties of metal nanostructures -- ch. 5. Patterning with self-assembling block copolymers -- ch. 6. Metrology for lithography. |
| Record Nr. | UNINA-9910139242703321 |
Landis Stefan
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| London, : ISTE | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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Nano-lithography [[electronic resource] /] / edited by Stefan Landis
| Nano-lithography [[electronic resource] /] / edited by Stefan Landis |
| Autore | Landis Stefan |
| Edizione | [1st edition] |
| Pubbl/distr/stampa | London, : ISTE |
| Descrizione fisica | 1 online resource (353 p.) |
| Disciplina | 621.381531 |
| Altri autori (Persone) | LandisStefan |
| Collana | ISTE |
| Soggetto topico | Nanolithography |
| ISBN |
1-118-62170-0
1-118-62258-8 1-299-31558-5 1-118-62162-X |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Nota di contenuto | Ch. 1. X-ray lithography : fundamentals and applications -- ch. 2. NanoImprint lithography -- ch. 3. Lithography techniques using scanning probe microscopy -- ch. 4. Lithography and manipulation based on the optical properties of metal nanostructures -- ch. 5. Patterning with self-assembling block copolymers -- ch. 6. Metrology for lithography. |
| Record Nr. | UNINA-9910830314403321 |
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Landis Stefan
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| London, : ISTE | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. Federico II | ||
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