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A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
Autore Kubby Joel A.
Pubbl/distr/stampa Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Descrizione fisica 1 online resource (xi, 166 pages) : digital, PDF file(s)
Disciplina 621.381
Soggetto topico Microelectromechanical systems
ISBN 1-139-12411-0
1-107-21936-1
1-283-29560-1
1-139-12216-9
9786613295606
1-139-11642-8
1-139-11206-6
0-511-98466-9
1-139-12708-X
1-139-11425-5
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Machine generated contents note: 1. Introduction; 2. Micro-mechanics; 3. Electrostatics; 4. Optical MEMS; 5. Thermal MEMS; 6. Fluidic MEMS; 7. Package and test; 8. From prototype to product: MEMS deformable mirrors for adaptive optics.
Altri titoli varianti A Guide to Hands-on MEMS Design & Prototyping
Record Nr. UNINA-9910457766103321
Kubby Joel A.  
Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Federico II
Opac: Controlla la disponibilità qui
A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
Autore Kubby Joel A.
Pubbl/distr/stampa Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Descrizione fisica 1 online resource (xi, 166 pages) : digital, PDF file(s)
Disciplina 621.381
Soggetto topico Microelectromechanical systems
ISBN 1-139-12411-0
1-107-21936-1
1-283-29560-1
1-139-12216-9
9786613295606
1-139-11642-8
1-139-11206-6
0-511-98466-9
1-139-12708-X
1-139-11425-5
Classificazione TEC008080
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Machine generated contents note: 1. Introduction; 2. Micro-mechanics; 3. Electrostatics; 4. Optical MEMS; 5. Thermal MEMS; 6. Fluidic MEMS; 7. Package and test; 8. From prototype to product: MEMS deformable mirrors for adaptive optics.
Altri titoli varianti A Guide to Hands-on MEMS Design & Prototyping
Record Nr. UNINA-9910781987803321
Kubby Joel A.  
Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Federico II
Opac: Controlla la disponibilità qui
A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
A guide to hands-on MEMS design and prototyping / / Joel Kubby [[electronic resource]]
Autore Kubby Joel A.
Pubbl/distr/stampa Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Descrizione fisica 1 online resource (xi, 166 pages) : digital, PDF file(s)
Disciplina 621.381
Soggetto topico Microelectromechanical systems
ISBN 1-139-12411-0
1-107-21936-1
1-283-29560-1
1-139-12216-9
9786613295606
1-139-11642-8
1-139-11206-6
0-511-98466-9
1-139-12708-X
1-139-11425-5
Classificazione TEC008080
Formato Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione eng
Nota di contenuto Machine generated contents note: 1. Introduction; 2. Micro-mechanics; 3. Electrostatics; 4. Optical MEMS; 5. Thermal MEMS; 6. Fluidic MEMS; 7. Package and test; 8. From prototype to product: MEMS deformable mirrors for adaptive optics.
Altri titoli varianti A Guide to Hands-on MEMS Design & Prototyping
Record Nr. UNINA-9910817976103321
Kubby Joel A.  
Cambridge : , : Cambridge University Press, , 2011
Materiale a stampa
Lo trovi qui: Univ. Federico II
Opac: Controlla la disponibilità qui