Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik |
Autore | Kohler |
Pubbl/distr/stampa | [Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 |
Descrizione fisica | 1 online resource (409 pages) |
Disciplina | 540 |
Soggetto genere / forma | Electronic books. |
ISBN |
1-280-55937-3
9786610559374 3-527-60291-7 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | ger |
Record Nr. | UNINA-9910146057703321 |
Kohler | ||
[Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 | ||
Materiale a stampa | ||
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Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik |
Autore | Kohler |
Pubbl/distr/stampa | [Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 |
Descrizione fisica | 1 online resource (409 pages) |
Disciplina | 540 |
Soggetto topico |
Masks (Electronics)
Microlithography Plasma etching |
ISBN |
1-280-55937-3
9786610559374 3-527-60291-7 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | ger |
Nota di contenuto | Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften. |
Record Nr. | UNINA-9910830441103321 |
Kohler | ||
[Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 | ||
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Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik |
Autore | Kohler |
Pubbl/distr/stampa | [Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 |
Descrizione fisica | 1 online resource (409 pages) |
Disciplina | 540 |
Soggetto topico |
Masks (Electronics)
Microlithography Plasma etching |
ISBN |
1-280-55937-3
9786610559374 3-527-60291-7 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | ger |
Nota di contenuto | Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften. |
Record Nr. | UNINA-9910877165703321 |
Kohler | ||
[Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998 | ||
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La Personnalite De L'enfant De Trois Ans: Annette |
Autore | Kohler |
Pubbl/distr/stampa | Editions L'Harmattan |
Descrizione fisica | 1 online resource (292 p.) |
Collana | Civilisation allemande |
ISBN |
2-336-76558-6
2-14-001322-0 |
Formato | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione | fre |
Record Nr. | UNINA-9910149520303321 |
Kohler | ||
Editions L'Harmattan | ||
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