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Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A. Campbell
| Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A. Campbell |
| Autore | Campbell, Stephen A. |
| Edizione | [Fourth edition] |
| Descrizione fisica | xiv, 671 pages; 24 cm |
| Disciplina | 621.3815/2 |
| Collana | The Oxford series in electrical and computer engineering |
| Soggetto topico | Semiconductors - Design and construction |
| ISBN | 9780199861224 |
| Classificazione |
LC TK7871.85
621.3.2.4 |
| Formato | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNISALENTO-991003427979707536 |
Campbell, Stephen A.
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| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. del Salento | ||
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The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
| The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell |
| Autore | Campbell, Stephen A. |
| Pubbl/distr/stampa | New York ; Oxford : Oxford University Press, 1996 |
| Descrizione fisica | xv, 536 p. : ill ; 24 cm |
| Disciplina | 621.38152 |
| Collana | The oxford series in electrical engineering |
| Soggetto topico | Semiconduttori - Tecnologia |
| ISBN | 0195105087 |
| Formato | Materiale a stampa |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione | eng |
| Record Nr. | UNISALENTO-991003066799707536 |
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Campbell, Stephen A.
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| New York ; Oxford : Oxford University Press, 1996 | ||
| Materiale a stampa | ||
| Lo trovi qui: Univ. del Salento | ||
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