Computational modeling in semiconductor processing / M. Meyyappan, editor
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| Autore: |
Meyyappan, M.
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| Titolo: |
Computational modeling in semiconductor processing / M. Meyyappan, editor
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| Pubblicazione: | Boston : Artech House, c1994 |
| Descrizione fisica: | x, 363 p. ; 23 cm |
| Soggetto topico: | Process control-data processing |
| Semiconductor industry-Mathematical models | |
| Classificazione: | 53.7.6 |
| 53.9.1 | |
| 621.3.2.4 | |
| 621.381520113 | |
| TK7871.85 | |
| Note generali: | Includes bibliographical references and index |
| ISBN: | 0890067074 |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Monografia |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | b10140074 |
| Lo trovi qui: | Univ. del Salento |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |