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Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment and applications / edited by Klaus K. Schuegraf



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Autore: Schuegraf, K.K. Visualizza persona
Titolo: Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment and applications / edited by Klaus K. Schuegraf Visualizza cluster
Pubblicazione: Park Ridge : Noyes Publications, c1988
Descrizione fisica: xvii, 413 p.
Soggetto topico: Thin film devices-Design and construction-Handbooks, manuals, etc
Classificazione: 53.7.8
Note generali: Includes bibliography and index.
ISBN: 0815511531
Formato: Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione: Inglese
Record Nr.: 991000989489707536
Lo trovi qui: Univ. del Salento
Opac: Controlla la disponibilità qui
Serie: Materials science and process technology series / R.F. Bunshah, G.E. McGuire