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Titolo: | Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena |
Pubblicazione: | New York, : American Institute of Physics |
Disciplina: | 621.5/5/05 |
ISSN: | 0734-211X |
Titolo chiave (Periodici): | Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena |
Altri titoli varianti: | Journal of vacuum science & technology B |
Titolo autorizzato: | Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Periodico |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 990008995850403321 |
Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |