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Titolo: | IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : [proceedings] |
Pubblicazione: | New York, NY, : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1989-c1993 |
Descrizione fisica: | 1 online resource |
Disciplina: | 621.3815/2 |
Soggetto topico: | Semiconductors - Design and construction |
Semiconductor industry - Production control | |
Semiconductor industry - Management | |
Process control | |
Soggetto genere / forma: | Conference papers and proceedings. |
Titolo autorizzato: | IEEE |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Periodico |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 996279899403316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |