Journal of vacuum science & technology
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| Titolo: |
Journal of vacuum science & technology
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| Pubblicazione: | Washington, : American Institute of Physics |
| Note periodicità: | Bimestrale |
| Disciplina: | 621.55/05 |
| CDU: | 669 |
| 6 | |
| ISSN: | 0022-5355 |
| Titolo chiave (Periodici): | Journal of vacuum science & technology |
| Titolo autorizzato: | Journal of vacuum science & technology |
| Formato: | Materiale a stampa  |
| Livello bibliografico | Periodico |
| Lingua di pubblicazione: | Inglese |
| Record Nr.: | 990008995810403321 |
| Lo trovi qui: | Univ. Federico II |
| Opac: | Controlla la disponibilità qui |
Sostituzione parziale di:
Journal of vacuum science & technology A: Vacuum, surfaces and films
Journal of vacuum science & technology B: Microelectronics processing and phenomena