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Titolo: | Ion implantation technology--1998 : 1998 International Conference on Ion Implantation Technology : Proceedings, Kyoto, Japan, June 22-26, 1998 |
Pubblicazione: | [Place of publication not identified], : The Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc, 1998 |
Disciplina: | 621.3815/2 |
Soggetto topico: | Semiconductors |
Ion implantation | |
Semiconductor doping | |
Electrical & Computer Engineering | |
Engineering & Applied Sciences | |
Electrical Engineering | |
Persona (resp. second.): | YamadaI |
MatsuoJ | |
TakaokaG | |
Note generali: | Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
Titolo autorizzato: | Ion implantation technology--1998 : 1998 International Conference on Ion Implantation Technology : Proceedings, Kyoto, Japan, June 22-26, 1998 |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 996212593803316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |