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DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro



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Autore: Munro, Deborah Visualizza persona
Titolo: DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs / Deborah Munro Visualizza cluster
Pubblicazione: Cham, : Springer, 2019
Titolo uniforme: DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs  
Descrizione fisica: xvi, 188 p. : ill. ; 24 cm
Soggetto topico: 00A79 (77-XX) - Physics [MSC 2020]
94Cxx - Circuits, networks [MSC 2020]
Soggetto non controllato: Actuators
Biomedical Engineering
Cleanrooms
DIY
Fabrication
Lithography
MEMS
MEMS Packaging
Microelectromechanical systems
Microfabrication
NNCI
Nanotechnology
National Nanotechnology Infrastructure Network
Open use labs
Soft materials
Titolo autorizzato: DIY MEMS : Fabricating Microelectromechanical Systems in Open Use Labs  Visualizza cluster
Formato: Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione: Inglese
Record Nr.: VAN00215448
Lo trovi qui: Univ. Vanvitelli
Localizzazioni e accesso elettronico http://doi.org/10.1007/978-3-030-33073-6
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