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Titolo: | 2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) / / Institute of Electrical and Electronics Engineers |
Pubblicazione: | Piscataway, NJ : , : IEEE, , 2016 |
©2016 | |
Descrizione fisica: | 1 online resource (87 pages) |
Disciplina: | 621.38152 |
Soggetto topico: | Ion implantation |
Nota di bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |
Sommario/riassunto: | Annotation The conference will cover topics on ion implantation technology and thermal processing for semiconductor devices and materials including junction, contact, material modification, process modeling and metrology methods. |
Altri titoli varianti: | 2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology |
Titolo autorizzato: | 2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) |
ISBN: | 1-5090-2024-1 |
Formato: | Materiale a stampa |
Livello bibliografico | Monografia |
Lingua di pubblicazione: | Inglese |
Record Nr.: | 996279842603316 |
Lo trovi qui: | Univ. di Salerno |
Opac: | Controlla la disponibilità qui |