Vai al contenuto principale della pagina

Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik



(Visualizza in formato marc)    (Visualizza in BIBFRAME)

Autore: Kohler Visualizza persona
Titolo: Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik Visualizza cluster
Pubblicazione: [Place of publication not identified], : Wiley VCH Imprint, 1998
Descrizione fisica: 1 online resource (409 pages)
Disciplina: 540
Soggetto topico: Masks (Electronics)
Microlithography
Plasma etching
Note generali: Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph
Nota di contenuto: Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften.
Titolo autorizzato: Atzverfahren Fur Die Mikrotechnik  Visualizza cluster
ISBN: 1-280-55937-3
9786610559374
3-527-60291-7
Formato: Materiale a stampa
Livello bibliografico Monografia
Lingua di pubblicazione: Tedesco
Record Nr.: 9910877165703321
Lo trovi qui: Univ. Federico II
Opac: Controlla la disponibilità qui