LEADER 01244nas 2200445 a 450 001 996207329403316 005 20240413015827.0 011 $a1432-1858 035 $a(OCoLC)43185385 035 $a(CKB)954925573922 035 $a(CONSER) 00227308 035 $a(DE-599)ZDB1476561-5 035 $a(EXLCZ)99954925573922 100 $a20000106a19949999 sy 101 0 $aeng 135 $aurcnu||||| 181 $ctxt$2rdacontent 182 $cc$2rdamedia 183 $acr$2rdacarrier 200 10$aMicrosystem technologies $esensors, actuators, systems integration 210 $aBerlin $cSpringer 300 $aRefereed/Peer-reviewed 311 $a0946-7076 606 $aMicroelectronics$vPeriodicals 606 $aTransducers$vPeriodicals 606 $aActuators$vPeriodicals 606 $aMicroe?lectronique$vPe?riodiques 606 $aTransducteurs$vPe?riodiques 606 $aActionneurs$vPe?riodiques 615 0$aMicroelectronics 615 0$aTransducers 615 0$aActuators 615 6$aMicroe?lectronique 615 6$aTransducteurs 615 6$aActionneurs 676 $a621.381 906 $aJOURNAL 912 $a996207329403316 996 $aMicrosystem technologies$92027648 997 $aUNISA