LEADER 01210nas  2200385 c 450 
001 9910895416803321
005 20260218110847.0
035   $a(DE-599)ZDB2420106-6
035   $a(OCoLC)1184353132
035   $a(DE-101)988207753
035   $a(CKB)1000000000525772
035   $a(DE-599)2420106-6
035   $a(EXLCZ)991000000000525772
100   $a20080409a20059999  |y         |
101 0 $ager
135   $aur|||||||||||
181   $ctxt$2rdacontent
182   $cc$2rdamedia
183   $acr$2rdacarrier
200 10$aJahresbericht / HSG-IMAT, Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut fu?r Mikroaufbautechnik, Universita?t Stuttgart$emit IZFM
210 31$aStuttgart$cInstitut fu?r Mikroaufbautechnik$d2005-
215   $aOnline-Ressource
300   $aGesehen am 20.12.2016
300   $aFru?here Jahrga?nge online nicht mehr verfu?gbar
311 08$a1861-7220 
608   $aZeitschrift$2gnd-content
676   $a620
712 02$aUniversita?t Stuttgart$bInstitut fu?r Zeitmeßtechnik, Fein- und Mikrotechnik$4isb
801  0$b8999
801  1$bDE-101
801  2$b9999
906   $aJOURNAL
912   $a9910895416803321
996   $aJahresbericht$9415024
997   $aUNINA