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330   $aZwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre Mo?glichkeiten und Limitationen diskutiert: ein Du?nnschicht-Laserscanner und ein Du?nnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm³ von sehr geringer Baugro?ße. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren mo?glich ist.
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