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200 00$aEffizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte
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330   $aIn der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abha?ngigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die no?tige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsgera?t verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.
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