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200 00$aIntegrierte Lagesensorik fu?r ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
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225 1 $aSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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330   $aIn einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgeda?chtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Du?nnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
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