LEADER 01874nam  2200397z- 450 
001 9910346720803321
005 20210211
010   $a1000027008
035   $a(CKB)4920000000094493
035   $a(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/50400
035   $a(oapen)doab50400
035   $a(EXLCZ)994920000000094493
100   $a20202102d2012      |y         0
101 0 $ager
135   $aurmn|---annan
181   $ctxt$2rdacontent
182   $cc$2rdamedia
183   $acr$2rdacarrier
200 00$aIntegrierte Lagesensorik fu?r ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
210   $cKIT Scientific Publishing$d2012
215   $a1 online resource (VI, 132 p. p.)
225 1 $aSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
311 08$a3-86644-829-5 
330   $aIn einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgeda?chtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Du?nnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
606   $aTechnology: general issues$2bicssc
610   $aAblenksystem
610   $aFerromagnetische Formgeda?chtnislegierung
610   $aMikrosystemtechnik
610   $aNi-Mn-Ga
610   $aPositionsermittlung
615  7$aTechnology: general issues
700   $aAuernhammer$b Daniel$4auth$01314038
906   $aBOOK
912   $a9910346720803321
996   $aIntegrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem$93031613
997   $aUNINA