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200 1 $aInnovative Klein- und Mikroantribe 2001$evortrage der GMM-IMM-Fachtagung vom. 15 - 16. mai 2001 in mainz$fwissernschaftliche tagungsleitung H. -D. Stolting, M. nienhaus$gveranstalter, VDE/VDI-Gesellschaft mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM), Institut fur mikrotechnik Mainz Gmbh (IMM)
210   $aBerlin$cVDE Verlag$dc2001
215   $a228 p.$cill.$d29 cm
225 1 $aGMM-Fachbericht$v33
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