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200 00$aLaserscanner und Minispektrometer basierend auf hochdispersiven optischen Du?nnschichtfiltern
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215   $a1 online resource (IV, 150 p. p.)
311 08$a3-86644-689-6 
330   $aZwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre Mo?glichkeiten und Limitationen diskutiert: ein Du?nnschicht-Laserscanner und ein Du?nnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm³ von sehr geringer Baugro?ße. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren mo?glich ist.
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