01246nam1 22003253i 450 RMS003426720240906063317.020091019g1986 ||||0itac50 baengusz01i xxxe z01nSilicon processing for the VLSI eraStanley Wolf, Richard N. TauberSunset Beach (Cal.)Lattice press v.25 cm.001MIL03707052001 ˜Vol. 3: The œsubmicron MOSFETStanley Wolf3001RMS00342682001 ˜Vol. 1: œProcess technologyStanley Wolf, Richard N. Tauber1Circuiti integratiFIRNAPC004761I621.3815ELETTRONICA. COMPONENTI E CIRCUITI14621.3815INGEGNERIA ELETTRONICA. COMPONENTI E CIRCUITI22Wolf, Stanley <1943- >MILV1384260708670Tauber, Richard N.RMSV0199180708671ITIT-NA007920091019IT-BN0095 RMS0034267Biblioteca Centralizzata di Ateneov. 1;3v. 1;3 01SALA DING 621.3815 WOL.si2 01Silicon processing for the VLSI Era113992UNISANNIO