01998nam0 22004813i 450 NAP047245820251003044252.0084933928620091019d2006 ||||0itac50 baengusz01i xxxe z01nz01ncRDAcarrierX-ray metrology in semiconductor manufacturingD. Keith Bowen, Brian K. TannerBoca Raton [etc.]CRCTaylor & Francis2006279 p.ill.25 cm.SemiconduttoriFIRCFIC012149ERaggi XDiffrazioneFIRSBLC031300I621.3815ELETTRONICA. COMPONENTI E CIRCUITI14621.38152Ingegneria elettronica. Componenti e circuiti. Dispositivi semiconduttori22Conduttori variabiliRadiazioni roentgenRadiazioni XRaggi RöntgenRaggi-XRaggi di RöntgenRaggi roentgenSemiconduttoriConduttori variabiliRaggi XRadiazioni roentgenRaggi XRadiazioni XRaggi XRaggi RöntgenRaggi XRaggi-XRaggi XRaggi di RöntgenRaggi XRaggi roentgenBowen, David Keith <1940- >NAPV112650070771023Tanner, Brian K.MILV19314507053806Tanner, Brian KeithSBNV068371Tanner, Brian K.Bowen, D. KeithNAPV112651Bowen, David Keith <1940- >Bowen, D. K.SBNV033730Bowen, David Keith <1940- >ITIT-00000020091019IT-BN0095 NAP 01SALA DING $NAP0472458Biblioteca Centralizzata di Ateneo1 v.1 v. 01SALA DING 621.3815 BOW.xr 0102 0000060835 VMA A4 1 v.Y 2007011020070110 01X-ray metrology in semiconductor manufacturing1573358UNISANNIO