01210nas 2200385 c 450 991089541680332120260218110847.0(DE-599)ZDB2420106-6(OCoLC)1184353132(DE-101)988207753(CKB)1000000000525772(DE-599)2420106-6(EXLCZ)99100000000052577220080409a20059999 |y |gerur|||||||||||txtrdacontentcrdamediacrrdacarrierJahresbericht / HSG-IMAT, Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut für Mikroaufbautechnik, Universität Stuttgartmit IZFMStuttgartInstitut für Mikroaufbautechnik2005-Online-RessourceGesehen am 20.12.2016Frühere Jahrgänge online nicht mehr verfügbar1861-7220 Zeitschriftgnd-content620Universität StuttgartInstitut für Zeitmeßtechnik, Fein- und Mikrotechnikisb8999DE-1019999JOURNAL9910895416803321Jahresbericht415024UNINA