01759nam 2200361z- 450 991034672080332120231214141224.01000027008(CKB)4920000000094493(oapen)https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/50400(EXLCZ)99492000000009449320202102d2012 |y 0gerurmn|---annantxtrdacontentcrdamediacrrdacarrierIntegrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches AblenksystemKIT Scientific Publishing20121 electronic resource (VI, 132 p. p.)Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik3-86644-829-5 In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.MikrosystemtechnikPositionsermittlungNi-Mn-GaFerromagnetische FormgedächtnislegierungAblenksystemAuernhammer Danielauth1314038BOOK9910346720803321Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem3031613UNINA