02195oas 2200697 a 450 991022734020332120251105213014.01521-3862(DE-599)ZDB1477693-5(DE-599)1477693-5(OCoLC)42874150(CONSER) 2001227291(CKB)954925573933(EXLCZ)9995492557393319991123a19959999 sy aengurmn|||||||||txtrdacontentcrdamediacrrdacarrierChemical vapor depositionWeinheim Verlag & Co. KGaA [VCH Verlagsgesellschaft] ;[Deerfield Beadh, Fla.] [VCH Publishers]1 online resourceRefereed/Peer-reviewedPublished: Weinheim : Verlag GmbH & Co. KGaA : [VCH Verlagsgesellschaft ; Deerfield Beadh, Fla. : VCH Publishers], 1995-Aug. 1997 ; published: Weinheim : Verlag GmbH & Co. KGaA : [Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA], Oct. 1997-Nov. 1997; published: Weinheim, Fed. Rep. of Germany : Wiley-VCH Verlag GmbH, 1998-0948-1907 CVDChem. vap. depositionChem. vap. depos.Chemical vapor depositionPeriodicalsDépôt chimique en phase vapeurPériodiquesChemical vapor depositionfast(OCoLC)fst00853229Deposició en fase de vaporthubPeriodicals.fastRevistes electròniques.thubChemical vapor depositionDépôt chimique en phase vapeurChemical vapor deposition.Deposició en fase de vapor.EXWEXWOCLEYMOCLCQIULU9SOCLCQDLCOCLCFOCLCQCUSVT2OCLCOOCLCQAUDSFBOCLCQJOURNAL9910227340203321Chemical vapor deposition2156887UNINA