00971nam1-22002771i-450-990000133000403321000013300FED01000013300(Aleph)000013300FED0100001330020011111d--------km-y0itay50------baitay-------001yyLEXIKON der gesamten Technik und ihrer Hilfswissenschaftenim Verein mit Fachgenossenherausgegeben von OttoLueger.Stuttgart und LeipzigDeutsche verlags-anstalts.d.v.26 cm0019900001760004033212001 5. : Haustenne bis Kupplungen. 800 p. :ill.0019900001760605033212001 8. : Schwefelsauresalze bis Zytase.1046 p. : ill.Lueger,OttoITUNINARICAUNIMARCBK990000133000403321FINBCLEXIKON der gesamten Technik und ihrer Hilfswissenschaften114061UNINAING0101527nam 2200481 450 991013487750332120161213103920.01-118-71797-X(CKB)4330000000006896(MiAaPQ)EBC4721144(DLC) 2015032319(EXLCZ)99433000000000689620161104h20172017 uy 0engurcnu||||||||rdacontentrdamediardacarrierMeasurement technology for micro-nanometer devices /Wendong Zhang [and eight others]Singapore :Wiley :National Defense Industry Press,2017.©20171 online resource (344 pages)1-118-71798-8 1-118-71796-1 Includes bibliographical references at the end of each chapters and index.MicrotechnologyMeasurementNanotechnologyMeasurementMicroelectromechanical systemsTestingPhysical measurementsElectronic books.MicrotechnologyMeasurement.NanotechnologyMeasurement.Microelectromechanical systemsTesting.Physical measurements.681/.2Zhang WendongMiAaPQMiAaPQMiAaPQBOOK9910134877503321Measurement technology for micro-nanometer devices1972692UNINA