01409nam0 2200349 i 450 SUN012388220200409120107.3440.00N978331924672720191003d2017 |0engc50 baengCH|||| |||||*Growth and Transport in Nanostructured MaterialsReactive Transport in PVD, CVD, and ALDAngel Yanguas-GilCham : Springer, 2017XI128 p.ill. ; 24 cmPubblicazione in formato elettronicoCHChamSUNL001889530.417Fisica superficiale22620.1Scienza dei materiali22530.4175Film sottili22621.3126Modificazione e accumulazione di energia22541.377Semiconduttori22541.2Chimica teorica22Yanguas-Gil, AngelSUNV095353767420SpringerSUNV000178650ITSOL20200921RICAhttps://link.springer.com/book/10.1007%2F978-3-319-24672-7#tocSUN0123882UFFICIO DI BIBLIOTECA DEL DIPARTIMENTO DI SCIENZE E TECNOLOGIE AMBIENTALI BIOLOGICHE E FARMACEUTICHE17CONS e-book 2111 17BIB2111 212 20191003 Growth and Transport in Nanostructured Materials1562346UNICAMPANIA