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1. |
Record Nr. |
UNISANNIONAP0472458 |
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Autore |
Bowen, David Keith <1940- > |
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Titolo |
X-ray metrology in semiconductor manufacturing / D. Keith Bowen, Brian K. Tanner |
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Pubbl/distr/stampa |
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Boca Raton [etc.], : CRC, : Taylor & Francis, 2006 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Semiconduttori |
Raggi X - Diffrazione |
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Collocazione |
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SALA DING 621.3815 BOW.xr |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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