1.

Record Nr.

UNISALENTO991001240099707536

Autore

Murarka, Shyam P.

Titolo

Silicides for VLSI applications / S.P. Murarka

Pubbl/distr/stampa

Orlando : Academic Press, 1983

Descrizione fisica

xi, 200 p. ; 24 cm.

Classificazione

53.7

53.8

621.381'73

TK7871.15

Soggetti

Electronics-Materials

Integrated circuits-Very large scale integration

Silicides

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia