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1. |
Record Nr. |
UNISALENTO991001044959707536 |
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Autore |
Metev, Simeon M. |
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Titolo |
Laser-assisted microtechnology / Simeon M. Metev and Vadim P. Veiko |
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Pubbl/distr/stampa |
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Berlin : Springer-Verlag, 1998 |
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ISBN |
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Edizione |
[2nd upd. ed.] |
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Descrizione fisica |
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xii, 270 p. : ill. ; 24 cm. |
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Collana |
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Springer series in materials science ; 19 |
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Classificazione |
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53.2.65 |
621.3815'2'028 |
TK7836.M467 |
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Altri autori (Persone) |
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Soggetti |
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Electronic industries-Technological innovations |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Includes bibliographical references and index. |
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