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1. |
Record Nr. |
UNISALENTO991001037629707536 |
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Autore |
Townsend, P.D. |
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Titolo |
Ion implantation, sputtering and their applications / by P.D. Townsend, J.C. Kelly, N.E.W. Hartley |
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Pubbl/distr/stampa |
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London ; New York : Academic Press, 1976 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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ix, 333 p. : ill. ; 24 cm. |
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Classificazione |
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53.7.16 |
53.7.18 |
530.4'1 |
QC702.7 |
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Altri autori (Persone) |
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Kelly, John Clive |
Hartley, N.E.W. |
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Soggetti |
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Ion implantation |
Sputtering (Physics) |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Includes bibliographies and index. |
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