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Record Nr.

UNISALENTO991001037569707536

Autore

Eriksson, Lennart

Titolo

Ion implantation in semiconductors, silicon and germanium / [by] James W. Mayer, Lennart Eriksson and John A. Davies

Pubbl/distr/stampa

New York : Academic Press, 1970

ISBN

0124808506

Descrizione fisica

xiii, 280 p. : ill. ; 24 cm.

Classificazione

53.7.18

621.3.2.4

621.381'52

TK7871.85

Altri autori (Persone)

Davies, John Arthur

Soggetti

Ion implantation

Semiconductors

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Includes bibliographical references.