1.

Record Nr.

UNISALENTO991000800369707536

Autore

SPIE Conference on advanced processing of semiconductor devices

Titolo

Advanced processing of semiconductor devices : proceedings of SPIE (23-25 March, 1987, Bay Point, Florida) / Sayan D. Mukherjee (ed.)

Pubbl/distr/stampa

Bellingham : SPIE, c1987

ISBN

089252832X

Descrizione fisica

x, 362 p. : ill. ; 28 cm.

Collana

SPIE Proceedings ; 797

Classificazione

53(082.2)

53.2.65

621.3815

TK7871.85

Altri autori (Persone)

Mukherjee, Sayan D.author

Altri autori (Enti)

SPIE

Soggetti

Semiconductors-Design and construction - Congresses

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia