Record Nr.

UNISA996279728803316

Titolo

2013 24th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 2013

ISBN

1-4673-5007-9

Descrizione fisica

1 online resource (408 pages) : illustrations (black and white)

Disciplina

670.42

Soggetti

Process control

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph