1.
Record Nr.
UNISA996278339203316
Titolo
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing conference proceedings
Pubbl/distr/stampa
Piscataway, N.J., : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1997-
Descrizione fisica
1 online resource
Disciplina
621.3815/2
Soggetti
Semiconductors - Design and construction
Semiconductor industry - Production control
Semiconductor industry - Management
Process control
Conference papers and proceedings.
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Periodico