Record Nr.

UNISA996217252403316

Titolo

RTP 2001 : 9th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors : September 25-29, 2001, Hilton Anchorage, Alaska / / D.P. DeWitt ... [et al.], editors

Pubbl/distr/stampa


IEEE

Altri autori (Persone)

DeWittDavid P. <1934->

Soggetti

Semiconductors - Heat treatment

Rapid thermal processing

Semiconductor doping

Semiconductors - Defects

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia