Record Nr.

UNISA996211694703316

Titolo

2009 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : I E E E, 2009

ISBN

1-4244-3615-X

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph