Record Nr.

UNISA996206293903316

Titolo

2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : I E E E, 2008

ISBN

1-5090-7642-5

1-4244-1965-4

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph