| |
|
|
|
|
|
|
|
|
1. |
Record Nr. |
UNISA996204235103316 |
|
|
Titolo |
2005 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing |
|
|
|
|
|
Pubbl/distr/stampa |
|
|
[Place of publication not identified], : I E E E, 2005 |
|
|
|
|
|
|
|
ISBN |
|
|
|
|
|
|
Descrizione fisica |
|
1 online resource (xvi, 498 pages) : illustrations |
|
|
|
|
|
|
Disciplina |
|
|
|
|
|
|
Soggetti |
|
Computer integrated manufacturing systems |
|
|
|
|
|
|
Lingua di pubblicazione |
|
|
|
|
|
|
Formato |
Materiale a stampa |
|
|
|
|
|
Livello bibliografico |
Monografia |
|
|
|
|
|
Note generali |
|
Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
|
|
|
|
|
| |