Record Nr.

UNINA9910873082603321

Titolo

1996 IEEE/Semi Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 1996

Descrizione fisica

1 online resource (426 pages)

Disciplina

658.562

Soggetti

Process control

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph