Record Nr.

UNINA9910872974503321

Titolo

1995 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 1995

Descrizione fisica

1 online resource (350 pages)

Disciplina

670.285

Soggetti

Computer integrated manufacturing systems

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph