Record Nr.

UNINA9910872701803321

Titolo

2002 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : I E E E, 2002

Descrizione fisica

1 online resource (440 pages) : illustrations

Disciplina

621.3

Soggetti

Semiconductors

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph

Nota di bibliografia

Includes bibliographical references.