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1. |
Record Nr. |
UNINA9910872652503321 |
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Titolo |
IEEE/Semi Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 1999 |
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Pubbl/distr/stampa |
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[Place of publication not identified], : I E E E, 1999 |
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Descrizione fisica |
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1 online resource ([xi], 455 pages) : illustrations |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
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