Record Nr.

UNINA9910872437703321

Titolo

1997 International Vacuum Microelectronics Conference

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : IEEE, 1997

Descrizione fisica

1 online resource

Disciplina

621.3815

Soggetti

Microelectronics

Vacuum technology

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph