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1. |
Record Nr. |
UNINA9910709974503321 |
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Autore |
Woo D. S. |
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Titolo |
Characterization of silicon-gate CMOS/SOS integrated circuits processed with ion implantation / / D.S. Woo |
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Pubbl/distr/stampa |
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Marshall Space Flight Center, AL : , : George C. Marshall Space Flight Center, , January 1982 |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (v, 12 pages, 1 unnumbered page) : illustrations |
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Collana |
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Soggetti |
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Computer aided design |
Coding |
Ion implantation |
Masks |
Electron beams |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical reference (page 11). |
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